Бессолов, В.Н., Компан, М.Е., Коненкова, Е.В., Пантелеев, В.Н., 2020. Хлорид-гидридная газофазная эпитаксия полуполярного слоя AlN(1012) на наноструктурированной подложке Si(100) 46.. https://doi.org/10.21883/pjtf.2020.02.48944.18061